空心阴极放电的阴极溅射分析

• 作者: 丘军林 余建华 王新兵 赖建军
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 空心阴极放电 阴极溅射 自洽模型
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 页码范围: 72-74
• 页数: 3页
• 分类号: O461
• 字数: 2506字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2001.07.026

摘要

建立了空心阴极放电的二维自洽理论模型,通过阴极面上的电场、离子流和离子密度沿阴极截面的空间分布分析了放电中的阴极溅射问题.研究发现空心阴极溅射型离子激光器中不均匀阴极溅射的现象来源于阴极面附近的电场、离子流和离子密度的不均匀分布.从理论上模拟并解释了实验观察到的阴极表面溅射一个或多个凹坑的现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赖建军		30	317	10.0	16.0
2	余建华	深圳大学科技研究院光电子系	28	192	9.0	13.0
3	王新兵		55	348	10.0	16.0
4	丘军林		12	90	6.0	9.0