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集成化
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MEMS集成化设计方法及关键技术
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集成化
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动态联盟环境下集成化产品开发方法研究
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文献信息
篇名 玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 玻璃衬底 可动硅微机械结构 集成化 制作方法
年,卷(期) 2001,(8) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 47
页数 1页 分类号 TH-39
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
玻璃衬底
可动硅微机械结构
集成化
制作方法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
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0
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