MEMS集成化设计方法及关键技术

• 作者: 尤国平 田凌 郝文涛
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 设计方法 三维重构 宏模型
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 245-246
• 页数: 2页
• 分类号: TH122|TP391.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.085

摘要

针对MEMS设计的特点,在研究其设计过程和规律的基础上,提出一种MEMS集成化设计方法,该设计方法从方法论的角度探究了MEMS的最优设计问题.在集成化设计方法的基础上,研究MEMS工艺版图的三维重构和面向系统级仿真的宏模型构建方法,实现了MEMS集成化设计环境,有助于建立支持集成化设计的MEMS CAD软件系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田凌		76	1094	17.0	30.0
2	尤国平		1	2	1.0	1.0
3	郝文涛		10	81	5.0	9.0