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摘要:
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纳米多孔结构单晶硅热电薄膜声子热导率数值研究
热电薄膜
纳米多孔材料
声子热导率
单晶硅
微机械红外热电堆探测器
微电子机械系统
红外热电堆
阵列
水热电耦合法制备BaZrO3薄膜
锆酸钡
薄膜
电耦合
10MW高温气冷实验堆反应堆压力容器热电偶贯穿件
高温气冷堆
温度测量
热电偶
压力容器
贯穿件
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 新结构薄膜热电堆
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 薄膜热电堆 集成电路 微机械
年,卷(期) 2001,(8) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 47-48
页数 2页 分类号 TN37
字数 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
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引文网络
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2001(0)
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研究主题发展历程
节点文献
薄膜热电堆
集成电路
微机械
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
总被引数(次)
0
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