微尺寸探针测量技术

• 作者: 孙涛 王洪祥 董申 阎永达
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力微探针 坐标测量 电容传感器
• 年，卷（期）: 2001,（z2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 331-332
• 页数: 2页
• 分类号: TP2
• 字数: 1412字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2001.z2.165

摘要

原子力微探针具有极高的垂直方向位置灵敏度,其针尖半径可达几十纳米量级,这就为微纳米尺度的三维坐标测量提供了可能性.本文基于原子力微探针瞄准原理并结合二维微位移系统和高精度电容传感器,研制了微尺寸测量系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
3	王洪祥	哈尔滨工业大学精密工程研究所	67	690	16.0	23.0
4	阎永达	哈尔滨工业大学精密工程研究所	1	3	1.0	1.0