利用方形四探针技术测量硅基片薄膜电阻的研究

• 作者: 刘弘逸
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 方形四探针 硅基片 薄膜电阻 测试技术
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 27-29,26
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2009.03.009

摘要

提出硅基片生长薄膜的薄膜电阻的测试方法,利用方形四探针技术实现对较小硅基片上生长钴的薄膜电阻的测量,完成不同生长厚度下三片薄膜硅片的薄膜电阻测试工作,得出测试结果较可靠、合理的结论,同时对提高测试实验精度的影响因素进行分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘弘逸	东南大学仪器科学与工程学院	1	1	1.0	1.0