AlNi纳米合金薄膜低温电阻率的特性研究

• 作者: 代飞 孙丽俊 张继成 张莉莉 易勇 林伟 王凯 雷海乐 黄景林
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: Al1-xNix合金薄膜 半导体电阻率 电子-声子/磁子散射 负电阻率温度系数
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 1898-1904
• 页数: 7页
• 分类号: TG132
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2017.51.10.1898

摘要

通过磁控溅射制备了AlNi纳米合金薄膜,并利用自制的直排四探针低温测量系统测量了薄膜电阻率随温度(8~300 K)的变化规律.结果表明:由于电子-声子和电子-磁子相互作用,纯Al和Ni纳米晶薄膜的电阻率分别呈现出正的电阻率温度系数,且电子-磁子散射对电阻率的贡献主要体现在高温区(80~300 K),在低温区(<40 K)电子-晶界/表面散射对电阻率的贡献占主导地位.Ni原子掺入量的增加,诱导了纳米晶薄膜无序程度的增强,从而使Al1-x Nix纳米合金薄膜逐渐由晶体的金属特性过渡到半导体特性,导致其呈现出负的电阻率温度系数.由于增强的电子极化效应,Al1-x Nix纳米合金薄膜电阻率与温度的关系并不完全遵循半导体的热激发导电模型.