准分子激光光束能量均匀化的研究进展

• 作者: 徐华斌 陈抱雪 陈林
• 来源期刊: 上海第二工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光器 能量均匀化
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN929.11
• 字数: 226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4543.2002.01.001

摘要

准分子激光在微机械加工,医学,光通讯中具有重要应用.但由于准分子激光固有的特性,其光束能量具有不均匀性,从而准分子激光的应用受到极大制约, 因此,近年来,关于准分子激光光束能量均匀化的研究方面,人们进行了大量的理论和实验研究.本文概述了国内外准分子激光在光束能量均匀化方面的研究进展.