准分子激光光束均匀性的评价指标研究

• 作者: 凌磊 叶震寰 李红霞 楼祺洪 董景星 魏运荣
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 光束均匀性 加工窗口 平顶因子
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 729-732
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 2561字
• 语种: 中文

摘要

详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标,加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求;能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题;平顶因子则描述了整个光斑能量分布范围内的均匀性问题.利用激光波面分析仪对不同均匀器所获得的均匀光束进行评价比较,蝇眼透镜均匀器能量利用率高,整个光斑内的均匀效果好,但最佳均匀截面的位置动态范围小;组合棱镜均匀器均匀截面动态范围大,但整体均匀效量较差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶震寰	中国科学院上海光学精密机械研究所	24	241	10.0	15.0
2	楼祺洪	中国科学院上海光学精密机械研究所	131	1539	22.0	31.0
3	董景星	中国科学院上海光学精密机械研究所	93	890	17.0	23.0
4	魏运荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	86	833	17.0	23.0
5	凌磊	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	166	7.0	12.0
6	李红霞	中国科学院上海光学精密机械研究所	24	187	9.0	13.0