微型溅射离子泵在X射线管制造中的应用

• 作者: 杨美民 盛久山
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射离子泵 X射线管 钛
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 59-60
• 页数: 2页
• 分类号: TQ051.4
• 字数: 1221字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2002.06.016

摘要

介绍微型溅射离子泵的结构、工作原理及其在X射线管制造中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨美民		1	2	1.0	1.0
2	盛久山		1	2	1.0	1.0