摩擦力——划痕法评定PVD多层薄膜结合强度研究

• 作者: 朱有利 李重庵 石宗利 黄元林
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 摩擦力-划痕法 PVD 多层薄膜 结合强度
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 984-986
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2002.11.028

摘要

采用摩擦力-划痕法评定了PVD Ag-Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为LC1、LC2,其中LC1随膜厚的增加而减小,LC2随膜厚的增加变化不大,且和Ti单层膜的LC值相近.这与膜厚及膜内应力变化有关.实验结果表明,采用摩擦力-划痕法评定多层薄膜结合强度有其独特的优点.可以确定多层膜中不同膜层的LCi值,并以此来表征各层或某些层的结合强度值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄元林	装甲兵工程学院材料科学与工程系	40	322	10.0	15.0
2	朱有利	装甲兵工程学院材料科学与工程系	73	809	16.0	24.0
3	石宗利	兰州铁道学院土建学院工程力学所	21	282	10.0	16.0
4	李重庵	兰州铁道学院土建学院工程力学所	15	249	9.0	15.0