电子用高纯化学试剂发展分析

• 来源期刊: 化工经济技术信息
• 学科: 经济
• 关键词: 电子用高纯化学试剂 技术改造 结构调整 电子化学品产业 风险投资资金
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 7-8
• 页数: 2页
• 分类号: F407.7

摘要

电子专用超净高纯化学试剂是微电子技术加工制作过程中不可缺少的关键性化学品之一，主要用于芯片清洗和腐蚀，它的纯度和清洁度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有十分重要的影响，它基于微电子技术发展而发展，同时又制约微电子技术发展，因此，电子专用超净高纯化学试剂的研究和开发同微电子技术的发展紧密相联。