强束流脉冲Ta离子注入H13钢的背散射分析

• 作者: 杨建华
• 来源期刊: 南通工学院学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 背散射 离子注入 H13钢
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: O571.24
• 字数: 2768字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2340.2002.02.004

摘要

利用从金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流Ta离子,进行Ta离子注入钢的材料改性研究.研究结果表明,在离子注入剂量为5×1017cm-2,平均束流密度为40μA@cm-2,加速电压为42 kV下,Ta离子注入能在钢表面形成厚达80m的合金层.借助卢瑟福背散射(RBS),我们发现表面合金层中Ta的原子百分浓度在15%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建华	南通工学院基础部	19	52	4.0	7.0