Na2O对MoSi2/oxide发热元件特性的影响

• 作者: 江莞 王刚 赵世柯
• 来源期刊: 材料科学与工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 二硅化钼 发热元件 蠕变特性
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 167-169
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174
• 字数: 1790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-0299.2002.02.014

摘要

为了克服半导体热处理炉中MoSi2发热元件的低温氧化问题,通过添加高Na2O粘土获得了由MoSi2/oxide复合材料制成的发热元件,考查了脱Na工艺前后MoSi2/oxide发热元件使用特性的变化.研究结果表明,脱Na工艺较好地解决了半导体制品热处理装置中石英玻璃管的失透问题,使发热元件的弯曲强度和高温蠕变特性有了明显地改善,提高了发热元件的使用寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王刚	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	164	1405	19.0	32.0
2	赵世柯	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	17	246	6.0	15.0
3	江莞	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	37	301	9.0	15.0