工业五氧化二钒制备V2O5半导体薄膜分析

• 作者: 徐楚韶 杨绍利 胡再勇 陈厚生
• 来源期刊: 重庆大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: V2O5 溶胶-凝胶法 薄膜 电阻率
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 页码范围: 97-100
• 页数: 4页
• 分类号: TB381
• 字数: 3416字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-582X.2002.05.025

摘要

用攀钢工业V2O5为原料采用无机溶胶-凝胶法制备V2O5溶胶和凝胶,并用此胶体在不同衬底上制备出透明的半导体V2O5薄膜.研究了胶体粘度对涂膜的影响,以及薄膜电阻率与温度、烘干处理和厚度的关系.用扫描电子显微镜(SEM)研究了薄膜的微观形貌,用XRD研究了薄膜的成份及其变化.结果表明:胶体粘度对涂膜有较大影响;温度、湿份、薄膜厚度对薄膜电阻率均有较大影响;V2O5薄膜由针状V2O5颗粒组成,在衬底上呈均匀分布,且结构比较密集,其颗粒径向尺寸为0.5～1.0 μm,长度方向为3.0～5.0 μm.烘干处理后颗粒轮廓略有模糊、结构稀疏且尺寸有所长大,同时新生成了一些钒化合物.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨绍利	重庆大学材料科学与工程学院	17	168	8.0	12.0
2	徐楚韶	重庆大学材料科学与工程学院	64	946	18.0	26.0
3	陈厚生		10	88	6.0	9.0
4	胡再勇	重庆大学材料科学与工程学院	4	39	3.0	4.0