铁氧化物薄膜气敏材料的制备及性能研究评述

• 作者: 姜继森 金鑫
• 来源期刊: 材料科学与工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁氧化物 气敏特性 薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 热点评述
• 页码范围: 445-448
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 5045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2002.03.037

摘要

本文综合介绍近年来在铁氧化物薄膜气敏材料制备方法、性能方面的研究新进展,探讨了各种方法的特点.提出了今后铁氧化物气敏传感器的研究及改进方向.