紫外光照下金属氧化物薄膜气敏特性研究进展

• 作者: 刘宏伟 孙建平 徐爱兰 惠春
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 气敏传感器 综述 半导体金属氧化物薄膜 紫外光辐射
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 65-68
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.92
• 字数: 5168字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.07.020

摘要

介绍了近期文献中对紫外光照下半导体金属氧化物薄膜气敏特性的研究结果:紫外光照引起SnO2,In2O3,ZnO薄膜电导显著增大;提高室温下薄膜对CO,NO2气体检测的灵敏度,减少响应和恢复时间;介绍了一种对紫外光增强气敏机制的物理模型分析方法.最后讨论了当前存在的难点问题(室温下气体检测的灵敏度不高及使用紫外光源不便)及未来研究方向(借改变薄膜的制备方法、工艺条件、优化金属氧化物薄膜的结构;通过掺杂复合改变薄膜的成分以及寻找禁带宽度窄的半导体材料等).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙建平	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	1	13	1.0	1.0
2	惠春	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	25	181	9.0	13.0
3	徐爱兰	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	6	63	6.0	6.0
4	刘宏伟	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	2	14	1.0	2.0