纳米氧化物薄膜紫外光照下气敏性能研究进展

• 作者: 张宏 林志东 艾华
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 紫外光 综述 纳米金属氧化物薄膜 气敏性能
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.92
• 字数: 5097字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.11.003

摘要

介绍了金属氧化物薄膜电极的制备方法与过程,阐述了紫外光作用于金属氧化物半导体的光照机理.基于实际应用和市场需求,就有关光照后金属氧化物薄膜的气敏性能的研究现状进行了探讨,并展望了其今后的应用与研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林志东	武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室	26	258	7.0	15.0
5	张宏	武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室	3	4	2.0	2.0
6	艾华	武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室	2	2	1.0	1.0