8相位256×256衍射微透镜的设计与制作

• 作者: 何苗 易新建 程志军 黄光
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射微透镜 衍射效率 红外焦平面
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 光电探测元器件
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1|TN304.1+2
• 字数: 2617字
• 语种: 中文

摘要

介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法,在此基础上研制出适用于3～5μm波长256×256PtSi红外焦平面的8相位256×256硅衍射微透镜阵列,阵列中微透镜的孔径为50μm,透镜F数为f/2.5,微透镜阵列的中心距为50μm.实测衍射效率大于80%,能在红外波前传感器中较好应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄光	华中科技大学激光技术国家重点实验室	10	144	7.0	10.0
2	易新建	华中科技大学教育部图象识别与人工智能重点实验室	102	1261	21.0	29.0
3	何苗	华中科技大学光电子工程系	8	50	4.0	7.0
4	程志军	华中科技大学光电子工程系	2	32	2.0	2.0