256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究

• 作者: 孔令彬 易新建 王宏臣 陈四海 马宏
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: PtSi红外焦平面阵列 微透镜阵列 单片集成技术
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 页码范围: 340-342
• 页数: 3页
• 分类号: TN21
• 字数: 1988字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2001.05.005

摘要

基于标量衍射理论设计了8位相菲涅尔衍射微透镜阵列.利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵(256×256)PtSi红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品(单元面积为30μm×40μm).测试结果表明,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了2.0倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易新建		102	1261	21.0	29.0
2	陈四海		46	459	12.0	18.0
3	孔令彬		6	89	5.0	6.0
4	马宏		9	42	5.0	6.0
5	王宏臣		7	124	6.0	7.0