微型红外气体分析器

• 作者: 刘君华 张永怀 白鹏
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 红外气体分析器 光学
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 24-26,47
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.41
• 字数: 1830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2002.03.009

摘要

着重阐述了日本、法国、英国、瑞士等国家不同研究机构MEMS红外气体分析器的最新研究动态,以及原理和结构特点.这些微型红外气体分析器因其体积小、成本低,在分光类型、调制方式和检测手段等方面各具特色,近年来得到了迅速发展.其研究思路对于国内研究气体分析仪器的同行也具有一定的借鉴作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华	西安交通大学电气工程学院	224	3216	28.0	45.0
2	白鹏	西安交通大学电气工程学院	19	306	10.0	17.0
3	张永怀	西安交通大学电气工程学院	12	268	8.0	12.0