聚合物阵列波导光栅波分复用器的研究

• 作者: 刘式墉 崔占臣 张大明 衣茂斌 赵禹 陈开鑫 马春生
• 来源期刊: 吉林大学学报(信息科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 波分复用器 光波导 列阵波导光栅 聚合物
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 电子科学与工程
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 2738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5896.2002.01.002

摘要

利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物制作聚合物光波导,对聚合物阵 列波导光栅波分复用器的原理、版图设计及制作工艺进行了研究.设计了聚合物阵列波导光 栅的版图,并利用厚胶掩模和铝掩模两种工艺完成了聚合物阵列波导光栅光波导的制作.实 验结果证明,与厚胶掩模相比,铝掩模具有较好工艺重复性,同时也更能实现设计所要求的参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘式墉	吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室	57	381	11.0	17.0
2	崔占臣	吉林大学化学学院	21	303	11.0	17.0
3	赵禹	吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室	6	18	3.0	3.0
4	张大明	吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室	44	113	6.0	9.0
5	马春生	吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室	16	62	5.0	7.0
6	陈开鑫	吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室	3	8	2.0	2.0