碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

• 作者: 王友年 邱华檀 马腾才
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频放电 等离子体 离子 鞘层
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 1332-1337
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.06.035

摘要

考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用Monte-Carlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布.数值结果表明:随着放电气压增加,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布,而且低能离子的数目也逐渐地增加. 入射到电极上的离子呈小角分布,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显.