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摘要:
概述静电型,电磁型,压电型超微电动机的国内外研究现状及其技术性能,简要介绍三种关键制造技术,指出由超微电动机构成的微电子机械系统(MEMS)的广阔应用前景。
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节能技术
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文献信息
篇名 超微电动机的应用前景及其关键技术
来源期刊 电子元器件应用 学科 工学
关键词 应用前景 超微电动机 微电子机械系统 微细加工技术 LIGA技术
年,卷(期) 2002,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 4-6
页数 3页 分类号 TM32
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DOI
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作者信息
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1 张思明 9 8 1.0 2.0
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2002(0)
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研究主题发展历程
节点文献
应用前景
超微电动机
微电子机械系统
微细加工技术
LIGA技术
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子元器件应用
月刊
1563-4795
大16开
西安市科技路37号海星城市广场B座240
1999
chi
出版文献量(篇)
5842
总下载数(次)
7
总被引数(次)
11366
论文1v1指导