军用MEMS技术研究的最新进展

• 作者: 徐艳英
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 军事
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 20-27
• 页数: 8页
• 分类号: E9
• 字数: 7622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1180.2002.09.005

摘要

本文讨论了美国陆军航空兵和导弹部队司令部(AMCOM)正在开发研究的微机电系统(MEMS)技术的最新进展.近年来,工业用低成本、低功率微型器件(从简单的温度计、压力传感器到内胎加速度计)目前技术的成熟水平已为开发研究军民两用MEMS器件奠定了坚实基础.AMCOM早期从事的MEMS技术开发着重于惯性MEMS传感器,但最近启动了一项新的陆军(联合)科学和技术目标(STO)研究项目,目的是研究开发具有中等角频率传感器分辨率且低成本的惯性组件,用于测量导弹姿态的偏航角和旋转滚动速率.这项举措极大地影响了美国国防先进研究计划署(DARPA)和其他政府部门,使其致力于研究开发坚固耐用的实验性惯性MEMS器件.在过去的2年中,AMCOM的MEMS研究范围不断地扩大,包括了用于导弹正常状况监测的环境MEMS传感器、射频MEMS器件、用于光束方向控制的光学MEMS器件以及用于光电子器件微型化的微光学"光具座"等多个项目.此外,MEMS封装和集成也成为人们关注的焦点.本文有选择地描述了这些领域中正在进行的研究项目,并给出某些军用MEMS传感器的技术要求.