比值采样法在智能薄膜厚度测量仪中的应用

• 作者: 俞阿龙
• 来源期刊: 电工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 比值采样 厚度测量 线性化 V/F转换 单片机
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 测控技术
• 页码范围: 39-40
• 页数: 2页
• 分类号: TM93
• 字数: 1278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1388.2002.10.024

摘要

本文介绍比值采样法在薄膜厚度测量仪的应用,详细叙述了测量系统的组成原理和主要单元电路的设计.通过采用比值采样技术,在不采用高性能元件的前提下,提高系统测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	俞阿龙		73	489	12.0	18.0