提高半导体气敏元件检测能力的有效途径

• 作者: 徐海萍
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 气敏元件 灵敏度 选择性 热稳定性
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 技术与应用
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2002.02.005

摘要

半导体气敏元件发展的重点集中在如何提高其选择性、灵敏度和热稳定性等.通过控制元件的工作温度,采用添加技术、超微细化技术以及表面修饰技术等可有效地提高气敏元件的灵敏度和选择性.恒流加热法的使用是提高气敏元件热稳定性的主要手段.许多新材料、新原理的应用都可进一步提高气敏元件的检测能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐海萍	山西太原理工大学理学院应用物理系	1	15	1.0	1.0