半导体气敏陶瓷的研究方法

• 作者: 边志华
• 来源期刊: 太原理工大学学报
• 关键词: 气敏陶瓷 研究内容 研究方法
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 基金资助项目
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TM283
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9432.2003.01.013

摘要

以SnO2为基体材料的气敏元件为例,总结了半导体气敏陶瓷元件的制备过程和研究方法,分析了掺杂、热处理和表面修饰工艺对气敏元件性能的影响,介绍了气敏元件性能的实验和检测方法.