纳米硬度计及其在微机电系统中的应用

• 作者: 张泰华 杨业敏
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 纳米压痕 纳米划痕
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器技术与应用
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: O348.3|TB938.2
• 字数: 4258字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2002.01.012

摘要

微机电系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了对其所用材料和结构的力学性能研究.本文简要介绍纳米硬度技术的发展、理论模型和MTS公司的Nano Indenter XP系统的配置、测量原理及功能.并根据我们的一些研究结果,说明它在微机电系统中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张泰华	中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室	39	1013	14.0	31.0
2	杨业敏	中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室	10	724	8.0	10.0