应用ELID技术进行微晶玻璃超精密磨削

• 作者: 仇中军 张飞虎 谢大纲
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磨削 微晶玻璃 ELID磨削 砂轮修整 磨削液
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 砂轮与磨削
• 页码范围: 37-39,36
• 页数: 4页
• 分类号: TG7
• 字数: 3135字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2002.01.011

摘要

由于微晶玻璃具有优良的物理、机械性能,在光学等领域得到了越来越多的应用.ELID磨削利用在线电解的方法修整超细粒度的金刚石砂轮,可以有效地实现硬脆材料的超精密加工.本文将ELID磨削技术应用于微晶玻璃的超精密加工,通过改进ELD磨削的关键技术,包括砂轮电火花整形、电解修整电源和ELID磨削液的改进,实现了微晶玻璃的超精密磨削加工,同时通过采用原子力显微镜对不同磨削参数下的工件表面进行分析,以保证在塑性状态下对微晶玻璃进行磨削.因此提高了ELID磨削的质量.获得了Ra 2.308nm的较好表面质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢大纲		38	652	16.0	24.0
2	张飞虎		132	2251	25.0	41.0
3	仇中军		6	149	5.0	6.0