一种提取多导体互连电磁参数的有效方法

• 作者: 吴正德 朱汉清
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 互连 参数提取 区域分解法 直线法 有限差分法
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文与技术报告
• 页码范围: 336-339
• 页数: 4页
• 分类号: TN817|O441
• 字数: 1857字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2002.04.002

摘要

利用区域分解法,将直线法和有限差分法相结合,计算了多层介质多导体互连的电容和电感矩阵.通过在纯介质区域使用直线法,导体所在区域使用有限差分法分别进行求解,充分发挥其各自的优越性.数值结果表明该计算方法有效,且计算时间与介质层的厚度无关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱汉清	电子科技大学电子工程学院	5	56	4.0	5.0
2	吴正德	电子科技大学电子工程学院	17	111	6.0	9.0