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摘要:
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烤烟调制过程中淀粉精细结构的研究进展
烤烟
调制
淀粉
精细结构
原子力显微镜和皮革胶原纤维精细结构研究
原子力显微镜(AFM) 扫描探针显微镜(SPM) 皮革 基础纤维 纳米分析
铁基金属包膜界面的精细结构与金刚石单晶生长
高温高压
人造金刚石
铁基金属包膜
催化机理
精细结构
面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
集成电路
硅片机器人传输系统
硅片机器人
预对准装置
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 硅片上制造更精细结构新技术
来源期刊 光学精密机械 学科 工学
关键词 硅片 精细结构 制造技术 集成电路
年,卷(期) 2002,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 34-35
页数 2页 分类号 TN305
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
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引文网络
引文网络
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2002(0)
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研究主题发展历程
节点文献
硅片
精细结构
制造技术
集成电路
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密机械
季刊
长春市卫星路7089号
出版文献量(篇)
3901
总下载数(次)
5
总被引数(次)
0
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