面向IC制造的硅片机器人传输系统综述

• 作者: 丛明 杜宇 沈宝宏 金立刚
• 来源期刊: 机器人
• 关键词: 集成电路 硅片机器人传输系统 硅片机器人 预对准装置
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 综论与介绍
• 页码范围: 261-266
• 页数: 6页
• 分类号: TP24
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0446.2007.03.013

摘要

介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分--硅片机器人和预对准装置--的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丛明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	91	1036	16.0	28.0
2	杜宇	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	26	165	7.0	12.0
3	沈宝宏	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	4	80	3.0	4.0
4	金立刚	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	5	108	4.0	5.0