射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究

• 作者: 候廉平 陈清明 陈陪峰
• 来源期刊: 佛山陶瓷
• 关键词: 射频CO2激光器 划片 氧化铝陶瓷基片
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 3-8
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8236.2002.11.002

摘要

分析了射频C02激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则,通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈清明	华中科技大学激光工程研究院	16	155	6.0	12.0
2	陈陪峰	华中科技大学激光工程研究院	4	8	2.0	2.0
3	候廉平	华中科技大学激光工程研究院	1	5	1.0	1.0