光电位置敏感探测器标定装置设计

• 作者: 刘锦华 吕爱民 樊玉富 薛长生
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光电位置敏感探测器 标定装置 测量 位置精度
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 光电探测技术
• 页码范围: 427-429
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 1679字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2002.z1.088

摘要

本文介绍标定PSD原理和方法及标定装置的组成,解决PSD无专用标定装置的问题,满足PSD全敏感面位置精度和线性标定的要求,使其具有全自动、高精度、多方法标定的特点.