聚焦离子束(FIB)中的离子光学问题

• 作者: 张解东 徐军 陈文雄
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束(FIB) 液态金属离子源(LMIS) 静电透镜 空间电荷效应
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 411-415
• 页数: 5页
• 分类号: O463.2|TL503.3|TH83
• 字数: 4922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2002.04.013

摘要

本文简要讨论了聚焦离子束中的离子光学问题,包括液态金属离子源的发射机制和发射特性,如虚源、角电流强度、能量分散、伏安特性、束流起伏、聚焦限制、离子束中的化学成分及源的寿命.讨论了离子光学柱体的组成与特征,束流一束径关系,束中电流密度分布,以及空间电荷效应等.回顾了静电透镜的历史以及它在离子光学系统中的重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张解东	北京大学资金管理部	7	15	3.0	3.0
2	陈文雄	北京大学物理学院电镜室	11	48	4.0	6.0
3	徐军	北京大学物理学院电镜室	44	285	10.0	15.0