一种新型微机械陀螺的研究

• 作者: 熊斌 王渭源 王跃林 黄小振
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 微机械 陀螺 微机械加工技术
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 1580字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2002.09.009

摘要

设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺.这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与衬底相联.计算结果表明,这种器件在大气压条件下其驱动模态和检测模态的品质因子几乎同为140.同时,计算结果还表明可以获得比较平坦的较大带宽.采用硅-玻璃键合和深反应离子刻蚀技术制作了这种器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	黄小振	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	6	71	5.0	6.0
4	王渭源	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	8	125	7.0	8.0