微型激光干涉仪应用于纳米测量机

• 作者: 张宝峰 胡小唐 胡晓东 陈津平
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型激光干涉仪 纳米测量机(NMM)
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TH744
• 字数: 2251字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2002.04.002

摘要

本文介绍德国SIOS公司的微型激光干涉仪在德国Ilmenau技术大学纳米测量机(NMM)研制过程中的应用.简要介绍微型激光干涉仪的工作原理,重点论述NMM如何在25mm x 25mm x 5mm的空间范围内实现分辨力为1.2nm的三维测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	张宝峰	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	27	324	10.0	17.0
3	陈津平	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	30	267	10.0	15.0
4	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	86	712	15.0	23.0