基于二维朗奇光栅的表面形貌测量

• 作者: 刘振江 朱从锋 朱继强 王伯雄 罗秀芝 陈华成
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 朗奇检验 二维朗奇光栅 表面形貌测量 缓变表面测量
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 光电探测技术
• 页码范围: 445-450
• 页数: 6页
• 分类号: TN2
• 字数: 2064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2002.z1.092

摘要

本文提出一种采用二维朗奇光栅测量物体表面三维形貌的方法及装置,用一块二维朗奇光栅可同时获取被测表面在两正交方向上的梯度信息,从而仅需一张朗奇光强图便可重构出被测表面的形貌.文章介绍了方法的原理及二维朗奇光栅的结构设计,并用本方法研制的仪器进行了静止的和缓变的表面形貌的测量,取得了良好的测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伯雄	清华大学精密仪器与机械学系	68	667	12.0	24.0
2	罗秀芝	清华大学精密仪器与机械学系	40	346	10.0	18.0
3	陈华成	清华大学精密仪器与机械学系	6	26	3.0	5.0
4	朱从锋	清华大学精密仪器与机械学系	5	11	2.0	3.0
5	朱继强	清华大学精密仪器与机械学系	2	0	0.0	0.0
6	刘振江	清华大学精密仪器与机械学系	3	11	2.0	3.0