MEMS测试系统的研究现状与面临的挑战

• 作者: 冯亚林 张大成 栗大超 郝一龙 靳世久
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 测试系统 可靠性 现状 展望
• 年，卷（期）: 2002,（z2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统MEMS
• 页码范围: 961-966
• 页数: 6页
• 分类号: TM93
• 字数: 2962字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2002.z2.038

摘要

高性能的测试系统对MEMS的研究和开发具有重大的现实意义.本文结合MEMS共性特性的测试需求,通过讨论部分典型的MEMS测试系统,阐述了MEMS测试系统的研究现状,分析了构建MEMS测试系统所需的若干关键技术,提出了目前MEMS测试领域面临的一些主要挑战.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栗大超	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
2	郝一龙	北京大学微电子所	46	716	15.0	25.0
3	靳世久	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	211	3002	28.0	42.0
4	张大成	北京大学微电子所	43	793	13.0	27.0
5	冯亚林	北京大学微电子所	9	105	6.0	9.0