微型可编程相位光栅的理论特性研究

• 作者: 李云龙 殷玲 陈非凡
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 可编程相位光栅 微光机电系统(MOEMS) 光谱技术
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 67-70，86
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 字数: 2893字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2002.01.017

摘要

本文提出了一种基于微光机电系统(MOEMS)的新型可编程相位光栅技术,并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究,同时给出部分数值仿真结果,并得出了一些重要的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈非凡	清华大学精密仪器系	22	204	7.0	14.0
2	李云龙	清华大学精密仪器系	6	86	5.0	6.0
3	殷玲	清华大学精密仪器系	7	76	4.0	7.0