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文献信息
| 篇名 | 材料制备工艺 | ||
| 来源期刊 | 电子科技文摘 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 材料制备工艺 固体电子学 器件特性 栅长 氧化层 原子级 发光学报 PHEMT 量子线 湿法刻蚀 | ||
| 年，卷（期） | dzkjwz_2002,（11） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 26-26 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | TN386 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
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材料制备工艺
固体电子学
器件特性
栅长
氧化层
原子级
发光学报
PHEMT
量子线
湿法刻蚀
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相关学者/机构
期刊影响力
电子科技文摘
主办单位：
信息产业部电子科学技术情报研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1009-0851
CN：
11-4388/TN
开本：
16开
出版地：
邮发代号：
创刊时间：
1999
语种：
chi
出版文献量（篇）
10413
总下载数（次）
1
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