波导的溶胶-凝胶工艺

• 作者: 吴晓雯
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 原子磁化率理论 集成光路 光学放大 溶胶-凝胶波导 波导Bragg光栅
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 光电子器件与技术
• 页码范围: 43-51
• 页数: 9页
• 分类号: TN2
• 字数: 7619字
• 语种: 中文

摘要

对于光学波导与导波设备、电路的制造而言,溶胶-凝胶工艺的出现不失为一种有效途径.特别是集成光学有源器件及电路中掺活性掺杂物(如钕、铒、铈).本文回顾了基于溶胶-凝胶工艺的有源器件、电路的最新研究.对于光学放大器中的激活溶胶-凝胶薄膜的模拟分析,我们提出激光器原子磁化理论及其速率方程,适当考虑了波导参数.采用波束传播法研究激活掺杂溶胶-凝胶薄膜设备(如直线波导、丫形支管、定向耦合器)的传播及增益特性.也在研究掺铈薄膜中布拉格光栅的形成,在微电机系统(MEMS)的未来应用也在研究中,可采用溶胶-凝胶工艺形成光层,并通过机械作用加以控制.