超精密仪器工程关键技术研究若干进展

• 作者: 李东升 谭久彬
• 来源期刊: 中国计量学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 精密工程 超精密测量 微小内尺寸测量 超精密三维轮廓测量 微驱动技术
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 83-88
• 页数: 6页
• 分类号: TH701
• 字数: 4802字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1540.2003.02.001

摘要

介绍超精密仪器工程研究中的几个最近研究进展:二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术、无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等.这些问题代表了目前超精密仪器工程研究的发展趋势,优先发展仪器单元技术和解决关键技术是促使仪器工程精度水平迅速提高的关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬		140	2284	28.0	42.0
2	李东升		176	977	16.0	19.0