激光数字平面检测系统的误差分析与应用

• 作者: 莫卫东
• 来源期刊: 空军工程大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学平面检测 数字化干涉波面 Zernike多项式拟合 误差分析
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 91-94
• 页数: 4页
• 分类号: O439
• 字数: 3798字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3516.2003.02.025

摘要

根据对实际光学平面玻璃表面误差检测结果的分析,深入地研究了激光数字平面检测系统中的理论误差与系统误差,提供了如何根据拟合干涉波面的Zernike多项式的系数对被测表面误差类型的判别方法,并对干涉条纹数量和拟合Zernike多项式阶的大小对精度的影响进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	莫卫东	空军工程大学工程学院	23	175	7.0	13.0