原子力显微镜在纳米粗糙度测量中的应用

• 作者: 张冬仙 章海军 陈英飞
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 纳米 粗糙度
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 25-29
• 页数: 5页
• 分类号: TH742
• 字数: 2730字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2003.04.005

摘要

介绍了用于纳米量级表面粗糙度测量的原子力显微系统.着重讨论了实现这种测量的软件实现方法.实验结果表明,该系统可以测量任意横向或纵向截面的线粗糙度,同时还可以测量任一区域的面粗糙度,并且在X、Y、Z三个方向上的表面粗糙度测量精度均已达到纳米量级,完全满足纳米尺度形貌研究要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冬仙	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	39	321	10.0	16.0
2	章海军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	53	454	12.0	18.0
3	陈英飞	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	2	64	2.0	2.0