基于原子力显微镜的纳米级表面粗糙度测量

• 作者: 杨学恒 白海会 陈小安 韩贤武
• 来源期刊: 重庆大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 表面粗糙度 纳米级 数学模型
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 机械工程·动力工程
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TH742.9|TG84
• 字数: 2456字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-582X.2007.02.002

摘要

简要介绍了评定表面粗糙度参数的基准线及其主要的两个轮廓高度评定参数,详细阐述了重庆大学研制成功的一种高精度原子力显微镜--AFM.IPC-208B型机的工作原理及其系统结构,着重论述了它在纳米级表面粗糙度检测上的应用.以不锈钢为实验样品,观测了不锈钢表面的微观结构,通过专用的计算程序,对所采集到的表面数据进行了分析和处理,得到了该表面的两个轮廓高度评定参数Rz和Ra值,最后对实验结果进行了简要的分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨学恒	重庆大学数理学院	39	294	9.0	15.0
2	陈小安	重庆大学机械传动国家重点实验室	124	1368	19.0	30.0
3	韩贤武	重庆大学机械传动国家重点实验室	5	36	3.0	5.0
4	白海会	重庆大学数理学院	3	44	2.0	3.0