干涉法测量多层透明膜系反射率

• 作者: 姜德生 魏仁选
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 透明薄膜 反射率 法布里-珀罗干涉 波长
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 1773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2003.04.010

摘要

应用干涉法实现透明膜系反射率的测量.将待测膜系镀在两薄玻璃片,并构成F-P干涉仪,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值,计算出膜系反射率,避免了光源波动对测量结果的影响.在实验所用膜系的反射率小于98%时,测量误差小于0.09%.