干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟

• 作者: 林秋宝
• 来源期刊: 集美大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉 缺陷 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 80-82
• 页数: 3页
• 分类号: O436.1
• 字数: 1850字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7405.2003.01.017

摘要

光学干涉方法测量器件表面微小缺陷是一种有效的实验方法.对于多样性结果的唯一性分析,借助于计算机模拟,得到特征缺陷的干涉图样的模拟结果.该结果适用于不同波长,缺陷尺度连续变化的微小情况.使用误差跟踪计算办法,可分辨的缺陷尺度变化从1/2波长的10-1量级倍数到102量级倍数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林秋宝	集美大学基础教学部	8	46	3.0	6.0