扫描电镜测量微米级长度的不确定度评定

• 作者: 斯初阳 朱莉 王承忠 纪红玲
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 微米级长度 不确定度
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与方法
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TG115.2
• 字数: 2640字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2003.01.010

摘要

对扫描电镜测量微米级长度的不确定度进行了评定.对引起不确定度性的许多因素,如扫描电镜的分辨率、测量的重复性以及标尺的标定误差等作了分析和计算,特别对输入变量相关时的合成问题作了研究.最后得到了S-4200型扫描电镜微米级测量长度的扩展的不确定度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	纪红玲	上海宝钢研究院分析测试研究中心	4	34	4.0	4.0
2	王承忠	上海宝钢研究院分析测试研究中心	12	45	4.0	6.0
3	朱莉	上海宝钢研究院分析测试研究中心	2	9	2.0	2.0
4	斯初阳	上海宝钢研究院分析测试研究中心	2	12	2.0	2.0